前言:
半導體是電子氣體重要下游市場,2024年以來,國內半導體產業復蘇帶動我國電子氣體行業回暖。
電子氣體分為電子大宗氣體和電子特種氣體。電子特種氣體品種較多,單一公司無法供應全部氣體,而海外廠商起步早且擁有先發優勢,電子特氣產品品類相對齊全,因此在中國電子特氣市場上擁有較強的話語權。電子大宗氣體以氮氣為主,隨著半導體供應鏈風險降低及生產成本控制需求日益急迫,國產電子大宗氣體迎機遇,并在以廣鋼氣體為代表的本土企業的引領下,電子大宗氣體國產替代逐漸步入“深水區”。
一、電子氣體為半導體制造第二大耗材,國內半導體產業回暖帶動電子氣體市場規模增長
根據觀研報告網發布的《中國電子氣體行業發展深度研究與投資前景分析報告(2025-2032)》顯示,電子氣體廣泛用于超大規模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業生產領域,在薄膜、刻蝕等工藝中作用關鍵,其純度和潔凈度直接影響光電子、微電子元器件質量、集成度、技術指標與成品率,制約電路和器件精確性。在半導體制造中,電子氣體成本占比約14%,是第二大耗材;顯示面板、LED與光伏等泛半導體行業同樣是電子氣體重要下游,因此,半導體產業的發展在電子氣體的發展中起關鍵作用。
數據來源:觀研天下數據中心整理
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2016-2022年,隨著國內半導體廠商積極擴產、升級產品線,我國電子氣體市場規模由92 億元增長至 180 億元,CAGR達11.8%。2023年,受半導體行業訂單不足影響,我國電子氣體市場規模增長速度放緩,為3.9%。2024年,隨著半導體訂單恢復,我國電子氣體市場逐漸回暖,規模達195億元,同比增長4.3%。預計2025年我國電子氣體市場規模增長至208億元,同比增長6.7%。
數據來源:觀研天下數據中心整理
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二、電子特種氣體主要市場仍由海外廠商把控,電子大宗氣體國產替代步入“深水區”
電子氣體分為電子大宗氣體和電子特種氣體,兩者在氣體品種、用量、應用環節、供應模式、純度要求等方面存在本質不同。
電子氣體分類
項目 | 電子大宗氣體 | 電子特種氣體 |
氣體品種和用量 | 氮氣、氦氣、氧氣、氫氣、氬氣、二氧化碳等,單一品種用量較大 | 現有特種氣體達 260 余種,單一品種用量較小 |
應用環節 | 作為環境氣、保護氣、清潔氣和運載氣等應用在電子半導體生產的各個環節 | 單一品種僅在電子半導體生產的部分特定環節使用 |
供應模式 | 現場制氣(On-site)為主,通過在客戶現場建設制氣裝置,集中、大規模、不間斷供應,對供應安全性、穩定性、可靠性要求極高 | 零售供氣(Merchant)為主,通過氣瓶運送至客戶現場 |
合作期限 | 下游客戶單個工廠/產線一般僅有一個電子大宗氣體現場制氣供應商,合同期通常為 15 年甚至更長,合同存續期內基本無法更換 | 一般情況下,單一供應商僅能供應數種至數十種特種氣體,合同期限通常為 3~5年,下游客戶需面對眾多特種氣體供應商 |
最高純度要求 | 9N,甚至更高 | 6N |
資料來源:觀研天下整理
1.電子特種氣體
電子特種氣體達260 余種,在光刻、刻蝕、沉積、摻雜、清洗等環節發揮重要作用。
由于電子特氣品種較多,單一公司無法供應全部氣體,而海外廠商起步早且擁有先發優勢,電子特氣產品品類相對齊全,因此在中國電子特氣市場上擁有較強的話語權。根據數據,2024年,我國電子特種氣體TOP4企業分別為美國空氣化工(25%)、德國林德氣體(23%)、法國液化空氣(22%)、日本太陽日酸(16%),總市場份額高達86%。
而國內特種氣體企業規模小、資金實力不足,在全球寡頭壟斷競爭下處于劣勢,且因研發投入大,資金匱乏制約創新,拉大與國際先進水平差距。同時,國內特種氣體生產公司存在產能重置、同質化嚴重問題,靠降價競爭形成惡性循環,使企業難以積累發展資金和技術,導致當前電子特種氣體市場呈現海外廠商“強者恒強”效應。
數據來源:觀研天下數據中心整理
資料來源:觀研天下整理
2.電子大宗氣體
電子大宗氣體包括氮氣、氦氣、氧氣、氬氣、氫氣、二氧化碳等六大品種。其中氮氣作為環境氣、保護氣、清潔氣和運載氣,貫穿半導體的整個工藝流程,是用量最大的電子大宗氣體,其余氣體品種的用量相對較少。
數據來源:觀研天下數據中心整理
從市場競爭看,此前以林德氣體、液化空氣、空氣化工為代表的全球大型工業氣體公司占據了我國電子大宗氣體絕大多數市場。但近年來,降低半導體供應鏈風險和控制生產成本大勢所趨,國產電子大宗氣體迎來發展機遇,替代正當時。
根據數據,2023年,中國集成電路和半導體顯示領域新建現場制氣項目中,林德氣體、液化空氣、空氣化工中標產能總占比高達 63.2%。至2024年,林德氣體、液化空氣、空氣化工中標產能總占比為30%,較2023年顯著減少33.2個百分點;而廣鋼氣體中標產能占比躍升至第一位,達41%,較2023年大幅增長16.4個百分點。
數據來源:觀研天下數據中心整理
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除“量”的提升外,以廣鋼氣體為代表的本土企業正引領電子大宗氣體國產替代“質變”。具體來看,廣鋼氣體自主研發形成了包括系統級制氣技術、氣體儲運技術、數字化運行技術、氣體應用技術等在內的核心技術體系。在系統級制氣技術領域,廣鋼氣體制氮裝置的技術參數和功能達到國際領先水平;電子大宗氣體的產品技術參數可達到 ppb 級,滿足《重點新材料首批次應用示范指導目錄》的性能要求,各項參數均遠超國標 GB 要求;在氣體儲運技術領域,廣鋼氣體主要圍繞氦氣完整供應鏈形成了 4K 溫區超低溫的儲運、液氦冷箱預冷、液氦冷箱互充、氦氣循環回收提純等核心技術,達到行業先進水平。我國電子大宗氣體國產替代逐漸步入“深水區”。
廣鋼氣體電子大宗氣體產品純度參數
氣體種類 | 國標超純 | 重點新材料目錄超高純 | 廣鋼氣體 |
氮氣 | 6N | 9N | 9N |
氦氣 | 6N | 9N | 9N |
氧氣 | 6N | 9N | 9N |
氬氣 | 5N | 9N | 9N |
二氧化碳 | 5N | 9N | 9N |
氫氣 | 5N | 9N | 9N |
資料來源:觀研天下整理(zlj)

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