蒸發源設備行業：線源為首選工藝國產漸受市場青睞國外廠商壟斷格局被打破

2025-02-15 09:28

手機瀏覽

一、真空蒸鍍法成中小尺寸OLED面板量產主流技術，支撐蒸發源設備市場需求

OLED 有機發光層及輔助功能層的制備方法主要包括真空蒸鍍法和噴墨打印法兩種，其中真空蒸鍍法是中小尺寸面板量產的主流技術，而噴墨打印法在技術成熟度方面還有待提升，尚未形成產業化。

根據觀研報告網發布的《中國??蒸發源設備??行業發展趨勢分析與投資前景研究報告（2025-2032年）》顯示，真空蒸鍍法工作原理是在真空環境中對有機發光材料加熱，使之氣化并沉積到基片上而獲得薄膜材料，這一過程又稱真空鍍膜。用于實現此類制備方法的真空蒸鍍設備由真空抽氣系統和真空腔體組成，其中真空抽氣系統涵蓋（超）高真空泵、低真空泵、排氣管道和閥門等組成，而真空腔體內則配置了蒸發源、晶振片及掩膜板等核心部件。在真空腔體內，設置了多個用于放置有機材料的蒸發源，這些蒸發源可以左右移動，通過加熱使有機材料氣化蒸發，最終沉積在基板上形成薄膜。

AMOLED 面板需蒸鍍十余層有機材料，而蒸鍍的厚度與均勻度為關鍵指標，兩種參數必須以納米級的精度進行控制，直接決定著 OLED 面板的發光效率、顯示顏色以及良品率等核心性能。蒸發源作為進行蒸鍍的核心組件，其性能決定著蒸鍍過程中的鍍膜厚度和均勻度，進而對蒸鍍效果及良品率產生決定性影響，使用周期預計在十年左右，堪稱蒸鍍設備的“心臟”。因此，真空蒸鍍法成中小尺寸OLED面板量產主流技術，支撐蒸發源設備市場需求。

資料來源：觀研天下整理

二、蒸發源工藝以線源為主，面源應用尚未成熟

蒸發源根據其宏觀形態的不同，可分為點源（Point Source）、線源（Linear Source）和面源（Planar/AreaSource）。

點源主要應用于實驗室制備器件，而面源工藝尚未實現規模產業化。對于高世代 OLED 蒸鍍線或高分辨率 OLED 蒸鍍，線源仍為首選工藝。

截至 2020 年下旬，主流在建的 6 代 AMOLED 產線均廣泛采用線源技術，同時，LG 的 8.5 代線目前也主要采納線源蒸鍍工藝。

各類蒸發源特性、技術與市場前景比較

比較項目	點源	線源	面源
主要特性	束狀蒸鍍，材料裝填在桶狀的坩堝內；在蒸鍍時，蒸發源為固定位置，基板旋轉，材料蒸鍍以蒸發源為中心扇面狀發散沉積在基板上。	線狀蒸鍍，材料裝填在長方體狀的坩堝內；在蒸鍍時，蒸發源來回移動，基板固定，采用線狀掃描方式將材料沉積在基板上。	面狀蒸鍍，材料先蒸鍍到面源表面；在蒸鍍時，蒸發源與基板一般不發生相對位移或僅發生小幅度位移。
技術難度	受自身蒸鍍特點影響，在成膜精度、材料利用率、成膜均勻性、蒸鍍陰影控制等關鍵方面欠佳。	與點源相比，在設備構造復雜度、設計、生產技術難度方面明顯加大，技術門檻高，成本高。	尺寸增大，結構復雜，目前難于在量產線上實現。
市場前景	僅適用于試驗線或小型蒸鍍線，如 4.5 代以下 OLE D 產線。目前高世代 OLED 有機層蒸鍍已不使用點源，僅在金屬電極層蒸鍍少量使用。	高世代 OLED 蒸鍍線或者高分辨率 OLED 蒸鍍，一般使用線源。目前主流在建的 6 代AMOLED 線均使用線源，LG 的 8.5 代線目前采用的也主要是線源蒸鍍工藝。	主要針對超高世代與超高分辨率 OLED 蒸鍍工藝，其技術難度要求極高。從目前來看，面源市場應用還不成熟，實現量產還需要很長時間。

資料來源：觀研天下整理

三、國產逐漸受到市場青睞，國外廠商壟斷蒸發源設備格局被打破

全球多家精密設備企業均對蒸發源進行了開發和研制，其中，三大國際知名廠商--日本愛發科、韓國 YAS、韓國 SNU掌握了大部分專利和核心技術，占據蒸發源設備主導。

蒸發源設備國際知名廠商簡介

公司名稱	基本情況	主要產品	業務特點
日本愛發科	成立于 1952 年，日本上市公司，全球領先的真空應用設備生產商，其設備主要應用于面板和半導體制造業和其他一般產業。	蒸鍍設備	擁有豐富的應用程序，可適用于新開發的蒸發源，對應基板的尺寸在 2 代線以上
韓國 YAS	成立于 2002 年，韓國上市公司，OLED 工藝設備制造商	蒸鍍設備	與 LG 合作，合作開發高世代蒸鍍設備
韓國 SNU	成立于 1998 年，韓國上市公司，OLED 以及 LCD行業相關設備制造商	蒸鍍設備與檢測設備	與 LG 合作，合作開發高世代蒸鍍設備